日本山武azbil藍寶石隔膜真空計提供基于現(xiàn)場積累的實績以及新算法開發(fā)的易于使用的?性能??品質(zhì)的壓力變送器、真空計。

藍寶石隔膜真空計

型號 SPG5□/6□/7□

藍寶石隔膜真空計 SPG5/6/7的受壓部采用了高耐腐蝕性、高耐熱性且機械特性優(yōu)異的單晶體藍寶石，通過

檢測靜電容量，即使在高溫檢測環(huán)境下也能實現(xiàn)高的檢測重復(fù)性。

通過先進的信號處理技術(shù)實現(xiàn)了溫度特性、直線性等誤差小的檢測，由微加工技術(shù)而形成的藍寶石

傳感器實現(xiàn)了小型、輕量化的自加熱型隔膜真空計。

日本山武azbil藍寶石隔膜真空計提高品質(zhì)

真空計多數(shù)在有大的壓力環(huán)境下使用，是容易因各種原因引起零點漂移的產(chǎn)品。真空計的零點漂

移會影響控制量，從而會影響最終產(chǎn)品的品質(zhì)。藍寶石隔膜真空計采用了零點不易漂移的構(gòu)造。

提高生產(chǎn)性

減少了設(shè)備的停機時間。備有用于減少停機避免時間浪費的功能。

azbil藍寶石隔膜真空計改善工藝

改善對以前只能通過壓力信號的變化才能識別的各種信息進行可視化的工藝的客戶作出貢獻。

藍寶石隔膜真空計是一種具有多種特點和優(yōu)勢的真空測量儀器。

其受壓部采用了高耐腐蝕性、高耐熱性且機械特性優(yōu)異的單晶體藍寶石，通過檢測靜電容量，即使在

高溫檢測環(huán)境下也能實現(xiàn)高的檢測重復(fù)性。通過先進的信號處理技術(shù)實現(xiàn)了溫度特性、直線性等誤差小

的檢測，由微加工技術(shù)而形成的藍寶石傳感器實現(xiàn)了小型、輕量化的自加熱型隔膜真空計。

azbil藍寶石隔膜真空計

真空計多數(shù)在有大的壓力環(huán)境下使用，容易因各種原因引起零點漂移，而藍寶石隔膜真空計采用了零點

不易漂移的構(gòu)造，從而避免了零點漂移影響控制量和最終產(chǎn)品的品質(zhì)。

這種真空計有助于提高生產(chǎn)性，減少了設(shè)備的停機時間，備有用于減少停機避免時間浪費的功能。

同時，它還能改善工藝，將傳統(tǒng)上僅從壓力信號的變化中理解的各種信息可視化，為客戶的流程改進作出貢獻。

azbil藍寶石隔膜真空計

例如，阿自倍尓株式會社（Azbil Corporation）近日宣布開始銷售的新款 V8 藍寶石隔膜真空計，通過 MEMS

 加工技術(shù)強化了傳感器上的抗沉積性能，使零點偏移大幅減少到現(xiàn)有 SPG 型號的十分之一。此外，V8S 型

還具有一個與測量頭分立的控制單元，能夠在 250°C 高溫下使用。

總之，藍寶石隔膜真空計在半導(dǎo)體工藝等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用，不斷的技術(shù)創(chuàng)新使其性能不斷提升，為

相關(guān)行業(yè)的發(fā)展提供了有力支持。